EX-731型熒光X-Ray元素膜厚儀是一款專門用來測試各種元素厚度的一種**儀器。采用多能譜分析器，使用256高頻分析器，光譜自動分析.*高可測量3層膜厚.
供應日本電測EX-731型熒光X-Ray元素厚度測量儀膜厚儀X-Y-Z軸可移動式測量台參數
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測量台操作方式 |
手動 |
自動 |
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測量行程 |
單位(mm) |
170 × 110 |
300 × 280 |
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移動量 |
X(mm) |
70 |
80 |
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Y(mm) |
70 |
60 |
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Z(mm) |
80（測定物高*大150） |
50 |
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測定物高（*大） |
80（150可選） |
50 |
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外形(mm) |
600(W)×465(D)×730(H) |
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重量(kg) |
79 |
85 |
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測量台載重(kg) |
3 |
1 |
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電源 |
AC200V±10V |
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供應日本電測EX-731型熒光X-Ray元素厚度測量儀膜厚儀技術參數
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X線源 |
油浸式小型微焦點Ｘ線管 |
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照射方式 |
上麵垂直照射方式 |
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検出器 |
比例計數管 |
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準直孔 |
5種類(自動切換式) |
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樣品觀察 |
CCD鏡頭 |
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測定対象 |
原子番號22(Ti)～82(Pb) |
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濾波器 |
(Co、Ni)自動切換 |
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厚度測定範圍 |
原子番號22～24：0.2～約20μm |
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検量線 |
検量線自動作成 |
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測量功能 |
単層膜厚測定 |
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測量模式 |
自動測量 |
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自動測量台功能 |
測定位置指定(X-Y-Z)
測定位置確認功能 |
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數據処理機能 |
統計量表示：平均、標準偏差、*大、*小、方差、Cp、Cpk |